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喷砂机工艺涂层处理
喷砂机VD是通过气相物质的化学反应在基材表面沉积固体薄膜的一种工艺方法。CVD技术发展较早，已应用于20世纪60年代硬质合金刀具的涂层处理，并广泛应用于硬质合金可转位刀具中。在CVD工艺中，制备气相沉积所需的金属源相对容易，可以进行TiBN、TiB2、TiN、TiC、TiCN、、Al2O3等单层和多层复合涂层，涂层与基体结合强度高，膜厚7～9μm，CVD涂层具有良好的耐磨性。据统计，上世纪80年代中后期，美国85%的硬质合金工具采用涂层处理，其中CVD涂层占99%；20世纪90年代中期，CVD涂层硬质合金刀具仍占80%以上。CVD涂层技术有很多优点：1.涂层源的制备比较容易。2.涂层均匀性较好。3.成膜粒子的能量很低，所以涂层的内应力很低。4.可以得到较厚的涂层。5.涂层的耐磨性很好。但CVD涂层技术也存在一些缺陷：
1喷砂机工艺处理温度较高，刀具材料的抗弯强度会降低。2.CVD涂层技术排放的废气会造成严重的环境污染。因此，自20世纪90年代中期以来，高温CVD涂层技术的发展和应用受到限制。20世纪80年代末，KrupWidia开发的低温化学气相沉积技术（PCVD）该技术的工艺处理温度已降至450℃至650℃，能有效抑制应用，η相产生，可以进行TiN、TiCN、TiC等金属涂料用于螺纹刀具、铣刀、钻头等，但PCVD技术在刀具涂料领域的应用还不是很广泛。20世纪80年代末，MT-CVD技术（中温化学气相沉积技术）在CVD涂层技术上取得了实质性突破。该技术的机理与高温CVD涂层技术相同，但涂层温度仅为700℃至900℃，正朝着更低的温度和更高的真空度方向发展。MT—CVD涂层技术的突出优点是沉积速度快，涂层厚度均匀，涂层附着力强，内部残余应力小。但MT-CVD涂层技术的主要缺点是产生严重的环境污染问题，其次，其涂层内部产生拉应力，容易产生裂纹。新型MT-CVD技术是含CCVD、N有机物乙腈(CH3)CN）主要反应气体混合TiCL4、H2、N2在700℃到900℃的温度下产生分解、化学反应和TiCN的新方法。该方法获得的涂层为致密纤维结晶形式，涂层厚度可达8-10μm。涂层结构为致密纤维状结晶，因此具有很高的耐磨性、耐热震性和韧性。再通过高温化学气相沉积技术（HT-CVD技术)Al2O3、Tin等抗氧化性能好、高温性能好、与加工材料亲和力小的材料沉积在表层涂层上。高温化学气相沉积技术适用于高速、高温、大负荷的干切削条件，刀具寿命是普通涂层刀片的两倍。我国CVD涂料技术的研究始于20世纪70年代初。由于该技术的专用性强，80年代中期实用，与国际喷砂机CVD技术水平相当；未来十年，国内外发展相似，相对缓慢；我国PCVD技术的研究始于20世纪90年代初，主要用于模具涂料，在刀具领域的应用不是很广泛。总的来说，我国CVD技术与国际先进水平保持同步。